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新啟航的超快激光微納線路修復(fù)設(shè)備。 企業(yè)供圖

南方財(cái)經(jīng)記者吳蓉 實(shí)習(xí)生鄭凝 佛山報(bào)道

在佛山高明滄江工業(yè)園的無(wú)塵車(chē)間里，一束納米級(jí)精度的激光正悄然重塑中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的區(qū)域版圖。

這臺(tái)由新啟航半導(dǎo)體自主研發(fā)的超快激光微納加工設(shè)備，以其媲美進(jìn)口設(shè)備的性能卻近乎腰斬的成本，打破了海外巨頭壟斷，更是將新啟航送上了2025年中國(guó)IC獨(dú)角獸的榜單。這是一份含金量十足的榜單，全國(guó)僅20家企業(yè)入選該榜單。這也是繼華特氣體、國(guó)星光電、聯(lián)動(dòng)科技、希荻微、藍(lán)箭電子先后登陸資本市場(chǎng)后，佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又一次質(zhì)的飛躍。

從上個(gè)世紀(jì)中旬站上電子產(chǎn)業(yè)潮頭，到如今研發(fā)與市場(chǎng)雙輪驅(qū)動(dòng)，2025年成為佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵轉(zhuǎn)折年：清溢光電掩膜版基地投產(chǎn)、ABM光刻機(jī)項(xiàng)目落戶、先導(dǎo)稀材光芯片產(chǎn)業(yè)化啟動(dòng)，再加上新啟航入選IC獨(dú)角獸，一系列突破標(biāo)志著佛山半導(dǎo)體從“點(diǎn)狀突破”正式邁向“生態(tài)成形”。

傳統(tǒng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群是典型的“正向生長(zhǎng)”，它以一座大型晶圓制造廠（Fab）為核心“樹(shù)干”，自然吸引來(lái)芯片設(shè)計(jì)公司、封裝測(cè)試廠、設(shè)備與材料供應(yīng)商，從而形成枝繁葉茂的完整產(chǎn)業(yè)鏈。而佛山上演了一場(chǎng)半導(dǎo)體行業(yè)的“反向生長(zhǎng)”試驗(yàn)：下游龐大且多元的終端制造需求，吸引半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)聚集，最終形成特色生態(tài)。

這場(chǎng)以“市場(chǎng)需求驅(qū)動(dòng)、制造能力支撐”為特征的“反向生長(zhǎng)”，正重塑佛山在中國(guó)半導(dǎo)體版圖中的坐標(biāo)。

9月30日，佛山市與ABM, Inc. Asia Pacific Ltd.簽訂合作協(xié)議，將落地廣東唯一的光刻機(jī)量產(chǎn)項(xiàng)目。

錯(cuò)失的浪潮與蟄伏的基因

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力高度依賴于設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)、設(shè)備、材料等全鏈條的協(xié)同與均衡發(fā)展。典型代表如無(wú)錫，其作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的“搖籃”，產(chǎn)業(yè)系統(tǒng)性崛起始于2005年海力士項(xiàng)目的落地，由此引爆了集群效應(yīng)。

而彼時(shí)的佛山卻是另一番景象。當(dāng)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在上個(gè)世紀(jì)九十年代轉(zhuǎn)向集成電路（IC）并引爆信息革命時(shí)，以傳統(tǒng)電子器件見(jiàn)長(zhǎng)的佛山卻未能跟上轉(zhuǎn)型步伐，仍在量產(chǎn)三極管、音響等產(chǎn)品。佛山電子集團(tuán)曾在消費(fèi)電子萌芽時(shí)代一度領(lǐng)先。

直到十年前，佛山半導(dǎo)體企業(yè)仍是屈指可數(shù)、規(guī)模有限，產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)“中間強(qiáng)、兩頭弱”的短板：知名企業(yè)集中在封裝測(cè)試、分立器件制造、材料等中間環(huán)節(jié)，芯片設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)力量薄弱，晶圓制造這一核心環(huán)節(jié)更是完全空白。

“產(chǎn)業(yè)配套近乎‘荒蕪’。”在2012年落戶佛山的希荻微相關(guān)負(fù)責(zé)人回憶，當(dāng)時(shí)設(shè)計(jì)出的芯片必須赴上海、深圳完成后續(xù)工藝。相關(guān)報(bào)告也顯示，直到2020年底，佛山市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)明專利申請(qǐng)有640件，發(fā)明專利占比為43.83%，低于中國(guó)和廣東的平均數(shù)據(jù)。

產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型滯后、創(chuàng)新能力弱、產(chǎn)業(yè)鏈配套缺失、資源投入偏向傳統(tǒng)制造業(yè)等多重因素疊加，佛山錯(cuò)失了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的第一個(gè)窗口期，逐漸在主流芯片產(chǎn)業(yè)版圖中失聲。

當(dāng)佛山在2017年前后開(kāi)始二次發(fā)力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)時(shí)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)已被上海、深圳、無(wú)錫等城市占據(jù)主導(dǎo)地位，頭部企業(yè)形成了技術(shù)、市場(chǎng)、規(guī)模的壁壘，無(wú)錫、合肥等依托大型晶圓制造項(xiàng)目（FAB）實(shí)現(xiàn)“龍頭牽引、鏈?zhǔn)骄奂薄７鹕經(jīng)]有這樣的“王牌”，但有另一張更具比較優(yōu)勢(shì)的“牌”：背靠大灣區(qū)龐大的應(yīng)用市場(chǎng)和終端制造基礎(chǔ)。

新啟航的崛起，是理解佛山新邏輯的最佳樣本。

“我們瞄準(zhǔn)本地乃至珠三角密集的電子信息、精密制造企業(yè)對(duì)高端芯片標(biāo)記、切割的迫切需求，解決進(jìn)口高端裝備售價(jià)高，國(guó)產(chǎn)設(shè)備又受限于核心技術(shù)的行業(yè)痛點(diǎn)問(wèn)題?！毙聠⒑礁笨偨?jīng)理謝偉亮說(shuō)。2021年，新啟航轉(zhuǎn)型自研，將首個(gè)目標(biāo)鎖定在超快激光設(shè)備，設(shè)定了“性能對(duì)標(biāo)國(guó)際頂尖產(chǎn)品但成本比進(jìn)口設(shè)備降低近50%”的目標(biāo)。

得益于佛山的制造業(yè)基礎(chǔ)和工程師紅利，該公司的超快激光修復(fù)設(shè)備在液晶面板修復(fù)、晶圓標(biāo)記等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)批量應(yīng)用，國(guó)產(chǎn)化率超過(guò)90%，完成了從市場(chǎng)驗(yàn)證到商業(yè)成功的敏捷閉環(huán)。

這種“應(yīng)用牽引”的逆向創(chuàng)新路徑，并非孤例。芯片設(shè)計(jì)企業(yè)希荻微，早期正是與大灣區(qū)手機(jī)廠商的工程師“并肩作戰(zhàn)”，共同定義電源管理芯片規(guī)格，從而實(shí)現(xiàn)快速導(dǎo)入與迭代。

匯芯半導(dǎo)體總經(jīng)理馮宇翔在談及為何將公司落戶佛山時(shí)也透露，“匯芯半導(dǎo)體的客戶主要是各大電控板設(shè)計(jì)公司，我們離客戶越近就越能高效、系統(tǒng)地為客戶提供信息和服務(wù)。而粵港澳大灣區(qū)是中國(guó)電控板公司最集中的區(qū)域，其中屬佛山一帶聚集度最高?！?/p>

他們的共同點(diǎn)在于：技術(shù)路線圖由下游需求倒繪，創(chuàng)新價(jià)值在市場(chǎng)上瞬間即被驗(yàn)證。這是佛山重振半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、實(shí)現(xiàn)價(jià)值重估的核心邏輯。

鏈?zhǔn)郊蹘?lái)生態(tài)躍遷

單一企業(yè)的成功，尚不足以支撐一個(gè)佛山半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，真正的質(zhì)變發(fā)生在生態(tài)層面。

2025年，佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了能級(jí)躍遷的標(biāo)志性節(jié)點(diǎn)：一批具有“鏈主”潛力的重大項(xiàng)目密集落地，它們不再是零散的補(bǔ)鏈，而是指向產(chǎn)業(yè)鏈最核心、最高附加值的環(huán)節(jié)戰(zhàn)略性強(qiáng)鏈。

掩膜版作為連接芯片設(shè)計(jì)與芯片制造的橋梁，是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的“模板”或“底片”。今年11月，深圳清溢光電股份有限公司在南海區(qū)丹灶鎮(zhèn)投資建設(shè)的平板顯示及半導(dǎo)體用掩膜版生產(chǎn)基地正式投產(chǎn)，并引入佛山第一臺(tái)電子束光刻機(jī)，未來(lái)將向28nm目標(biāo)發(fā)起沖擊，正式開(kāi)啟佛山高端半導(dǎo)體用掩膜版的制造歷史。

同在丹灶鎮(zhèn)，今年8月落戶的先導(dǎo)稀材光芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，將依托先導(dǎo)稀材在硒、碲產(chǎn)品生產(chǎn)及銦、鎵、鍺等稀有材料行業(yè)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，生產(chǎn)光電材料、光電傳感、光模塊等產(chǎn)品，打造廣東省內(nèi)最大光芯片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

在順德，ABM 光刻機(jī)公司(下稱“ABM”)將簽約落戶年產(chǎn)百臺(tái)套光刻機(jī)及先進(jìn)封裝核心設(shè)備生產(chǎn)基地項(xiàng)目，這也是廣東目前唯一的光刻機(jī)量產(chǎn)項(xiàng)目。光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中技術(shù)最復(fù)雜、單價(jià)最高、戰(zhàn)略意義最核心的設(shè)備，被譽(yù)為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”。其落戶意義遠(yuǎn)超一個(gè)普通工廠。

核心項(xiàng)目落地本質(zhì)上驗(yàn)證了佛山“市場(chǎng)牽引”邏輯的升級(jí)：其龐大的終端制造市場(chǎng)與初步成型的產(chǎn)業(yè)集群，已經(jīng)能夠支撐并吸引這類(lèi)資本與技術(shù)門(mén)檻極高的產(chǎn)業(yè)鏈核心環(huán)節(jié)落地。

如今，佛山規(guī)模以上半導(dǎo)體企業(yè)已超330家，工業(yè)總產(chǎn)值突破900億元。從上游的光芯片制造、到中游的芯片設(shè)計(jì)與器件研發(fā)，再到下游的封裝測(cè)試及專用裝備，均有布局。部分企業(yè)在細(xì)分領(lǐng)域占據(jù)重要席位，成為“重估佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)價(jià)值”的重要支撐。

例如，華特氣體的光刻氣已通過(guò)了全球頂尖光刻機(jī)企業(yè)荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON的認(rèn)證，是國(guó)內(nèi)唯一通過(guò)雙認(rèn)證的氣體公司；佛智芯已建成國(guó)內(nèi)首條大板級(jí)扇出型封裝示范線，該技術(shù)是下一代芯片封裝新的主要發(fā)展方向。

一場(chǎng)生態(tài)內(nèi)部的“化學(xué)反應(yīng)”即將發(fā)生。

“清溢光電等龍頭企業(yè)的到來(lái)，為供應(yīng)鏈本地化提供了更多可能。”希荻微副總盧海航表示。ABM光刻機(jī)量產(chǎn)項(xiàng)目落地后，有望帶動(dòng)本地精密加工、高端光學(xué)元件、智能控制系統(tǒng)等上下游配套協(xié)同發(fā)展，構(gòu)建“以裝備促制造、以制造帶研發(fā)”的良性循環(huán)。比如新啟航核心設(shè)備與ABM光刻機(jī)等龍頭項(xiàng)目存在天然的配套需求，有望嵌入嚴(yán)苛的產(chǎn)線場(chǎng)景中實(shí)現(xiàn)“配套-升級(jí)-綁定”的良性循環(huán)。

這意味著，佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正經(jīng)歷一個(gè)關(guān)鍵轉(zhuǎn)變：從過(guò)去依靠個(gè)別企業(yè)“單兵作戰(zhàn)”，到初步形成一個(gè)“外部核心項(xiàng)目引領(lǐng)，本土優(yōu)勢(shì)企業(yè)支撐，細(xì)分環(huán)節(jié)緊密配套”的產(chǎn)業(yè)網(wǎng)絡(luò)雛形。正是這個(gè)“從點(diǎn)到網(wǎng)”的結(jié)構(gòu)性質(zhì)變，構(gòu)成了價(jià)值重估最實(shí)質(zhì)的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，也標(biāo)志著其在中國(guó)半導(dǎo)體版圖中的角色，從一個(gè)傳統(tǒng)制造基地，向一個(gè)具有完整配套能力的特色半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群邁出了關(guān)鍵一步。

在“第三極”中錨定制造支撐極

佛山的新角色，還體現(xiàn)在廣東省“打造中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極”的新敘事中。

與長(zhǎng)三角的“全能型”發(fā)展不同，大灣區(qū)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)在于高效的“垂直整合”：深圳強(qiáng)于設(shè)計(jì)與創(chuàng)新，廣州制造與封測(cè)優(yōu)勢(shì)明顯，而佛山擁有深厚的精密制造功底、成本控制能力和空間優(yōu)勢(shì)。這樣的差異化優(yōu)勢(shì)，讓佛山避開(kāi)了在先進(jìn)制程晶圓制造上的白熱化競(jìng)爭(zhēng)，轉(zhuǎn)而聚焦于能夠迅速響應(yīng)大灣區(qū)海量終端需求的特色工藝、先進(jìn)封裝、核心裝備與材料環(huán)節(jié)，形成了“研發(fā)在廣深，制造在佛山”的協(xié)同模式。

這種協(xié)同實(shí)踐正在進(jìn)行。新啟航的設(shè)備研發(fā)，受益于與灣區(qū)高校在激光算法上的聯(lián)合攻關(guān)，以及與本地精密機(jī)械企業(yè)在零部件適配上的協(xié)同改進(jìn)。其與中山大學(xué)、澳門(mén)大學(xué)等展開(kāi)科研合作，并利用深圳、廣州的成熟供應(yīng)鏈與資本渠道優(yōu)化自身布局。其中，與佛山大學(xué)共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，聯(lián)合攻關(guān)白光干涉儀技術(shù)開(kāi)發(fā)項(xiàng)目。通過(guò)產(chǎn)學(xué)研協(xié)同突破，新啟航已成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)工業(yè)測(cè)量測(cè)繪領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)軟件的細(xì)分空白，并已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地，大幅降低相關(guān)行業(yè)對(duì)進(jìn)口軟件的依賴。

謝偉亮告訴南方財(cái)經(jīng)記者，下一步希望能與季華實(shí)驗(yàn)室合作，融合對(duì)方“精于高精密運(yùn)動(dòng)控制”的基礎(chǔ)研發(fā)能力與自身“懂市場(chǎng)、會(huì)做應(yīng)用軟件”的優(yōu)勢(shì)，以加速國(guó)產(chǎn)裝備的產(chǎn)業(yè)化落地。

市場(chǎng)也看好大灣區(qū)協(xié)同路徑。分析認(rèn)為，先導(dǎo)稀材等龍頭項(xiàng)目的落地，將推動(dòng)佛山光芯片產(chǎn)業(yè)形成“研發(fā)—中試—量產(chǎn)” 的完整閉環(huán)，構(gòu)筑一條串聯(lián)廣深莞佛的“光芯走廊”。這表明，佛山的價(jià)值不僅在于承接制造，更在于成為大灣區(qū)創(chuàng)新鏈條中不可或缺的產(chǎn)業(yè)化加速器。

佛山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的價(jià)值重估，并非基于其當(dāng)下龐大的產(chǎn)業(yè)體量，而是基于其驗(yàn)證了一條差異化突圍路徑的潛在能量。佛山的起點(diǎn)是下游龐大且多元的終端制造需求，以解決制造痛點(diǎn)為初心，在細(xì)分領(lǐng)域鍛造冠軍，并最終吸引產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)聚集。

當(dāng)然，在從“企業(yè)成功”邁向“生態(tài)繁榮”拐點(diǎn)時(shí)，佛山面臨的挑戰(zhàn)依然嚴(yán)峻，采訪中多個(gè)企業(yè)均提及“高端人才短缺、原始創(chuàng)新薄弱、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同機(jī)制有待深化”。如何借助大灣區(qū)人才流動(dòng)機(jī)制、共建研發(fā)平臺(tái)、強(qiáng)化政策引導(dǎo)，將是佛山能否真正站穩(wěn)“第三極”的關(guān)鍵。

當(dāng)一只IC獨(dú)角獸從西江側(cè)畔躍出，當(dāng)一批龍頭企業(yè)項(xiàng)目在此重倉(cāng)布局，這條基于強(qiáng)大制造基因的“反向生長(zhǎng)”路徑，正通過(guò)一個(gè)逐漸成型的特色產(chǎn)業(yè)集群，日益清晰地展現(xiàn)出來(lái)。